赛默飞扫描电镜Axia ChemiSEM参数:
发射源:预对中钨灯丝
分辨率:
3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
放大倍数:5 ~ 1,000,000×(宝丽来相纸放大)
加速电压范围:200V ~ 30kV
探针电流范围:可高达到2μA,连续可调
X-Ray工作距离:10mm EDS检出角35°
样品室:内宽280mm,端口10个
样品台:五轴全自动马达驱动
☆ X=120 mm,
☆ Y=120 mm,
☆ Z=55 mm,
☆ T=-15º~90º,
☆ R=360º (连续旋转)
☆ 大样品承重 10 kg
更多信息:FEI扫描电镜
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